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    位移传感器用于精密减振平台设计


             振动控制是振动工程领域内的一个重要分支。抑制振动的方法主要有:消振、隔振、吸振、阻振或者改变系统结构。消振和改变系统结构在很多情况下无法办到,常用的振动控制方法是隔振、吸振、阻振。为了保证光学精密仪器工作基础的稳定性,需要减小或者消除振动对设备的影响。
            精密减振平台以高精度位移传感器为测量单元,通过位移传感器测量减振平台支撑弹簧的长度变化,然后把输出的模拟信号转换为数字信号,再把数字信号送到DSP进行计算,计算结果转换成电流送给电磁驱动器,自动调整电磁驱动器的电磁力,使光学精密仪器受力平衡,达到减振的目的。
            精密减振平台为主动控制减振设计。整个平台可以看做由:传感单元、控制单元与执行单元组成的闭环反馈控制系统。传感单元主要完成振动信号的采集,并将采集信号转换为电信号,输入控制单元实时计算出执行单元的输出量。位移传感器对系统低频振动与超低频振动的测量性能优于速度传感器和加速度传感器,测量精度与环境适应性较好,可以很好满足减振平台的测量需求。
           位移传感器和电磁驱动器的联合应用,大幅改善了减振平台的减振效果。由于各级减振系统之间是相互独立的,更有利于多级减振,只需要考虑振动平台的振幅,不需要考虑被隔振物体的振动情况。因为数据采集,传输,运算,再到电磁驱动器电流调整,设计中的延时可造成电磁力的大小与弹簧的弹力变化并不相等,因此精密减振平台只能使振动衰减,并不能达到消振的效果。
           随着传感器技术与测控技术的飞速发展,各种新型传感器、微型传感器快速投入市场,并大量应用于各类测控系统。高精度位移传感器的应用更是提升了减振平台的减振性能,使其逐渐具备更好的应用价值和市场前景。



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